螺桿真空泵的發(fā)展
發(fā)表日期:2019-05-27 瀏覽次數(shù):1782
20世紀90年代,隨著化工制藥行業(yè)、半導(dǎo)體工業(yè)和液晶顯示器制造工藝的不斷發(fā)展,對清潔真空環(huán)境的要求越來越高,傳統(tǒng)的油封式機械泵的返油問題日益尖銳 ,急需一種運行穩(wěn)定可靠,且抽氣腔內(nèi)完全無油的新型真空泵,干式螺桿真空泵順應(yīng)而生。1890年,美國麻省的Warren公司發(fā)明了全球第一臺雙螺桿泵,荷蘭的Houttuin公司于1929年發(fā)明了歐洲第一臺雙螺桿泵。其具有結(jié)構(gòu)簡單緊湊,運行穩(wěn)定可靠,可直排大氣,抽氣腔內(nèi)完全無油等特點。
源于螺桿壓縮機的多頭轉(zhuǎn)子型線起步較早,有的廠家直接用螺桿壓縮機的轉(zhuǎn)子型線用在真空泵上使用。日立公司很早就把4-6頭螺桿轉(zhuǎn)子型線用在真空泵上,韓國LG公司的真空泵目前也使用多頭轉(zhuǎn)子型線,由于兩嚙合轉(zhuǎn)子接觸線的頂點不能達到陰、陽轉(zhuǎn)子氣缸孔的交線,在接觸線頂點和機殼的轉(zhuǎn)子氣缸孔之間,會形成一個空間曲邊三角形,也就是泄漏三角形,氣體將從壓力較高的齒間容積,泄漏至壓力較低的鄰近齒間容積,由于這個泄漏三角形的存在,導(dǎo)致多頭螺桿真空泵的極限真空度較低,加上這類轉(zhuǎn)子加工難度大,需要專用機床,造價昂貴,因而逐步退出螺桿真空泵市場。
為適應(yīng)市場需求,各公司開始開發(fā)單頭等螺距轉(zhuǎn)子型線。目前,單頭等螺距轉(zhuǎn)真空泵仍占有很大市場。
變螺距螺桿泵是等螺距螺桿泵的升級產(chǎn)品。等螺距螺桿泵由于無內(nèi)壓縮過程,排氣溫度非常高,如冷卻效果不好,會造成轉(zhuǎn)子和機殼變形,影響抽氣效果。里奇樂、凱尼和萊寶公司在單頭等螺距轉(zhuǎn)子型線基礎(chǔ)上均研發(fā)出單頭變螺距轉(zhuǎn)子型線,并將產(chǎn)品投放市場。最早螺桿真空泵的引導(dǎo)線(螺旋線)為常數(shù),也就是等螺距螺桿,介質(zhì)(主要是氣體) 在泵體內(nèi)部等體積傳輸,在排氣口壓縮,屬于外部壓縮,能耗和噪聲都較高。從能效觀點出發(fā),工作氣體是可以內(nèi)部壓縮的,在端面型線不變的情況下,通過改變螺旋線的導(dǎo)程實現(xiàn)內(nèi)部壓縮,增大吸氣端導(dǎo)程擴大吸氣容積,縮小排氣端的導(dǎo)程降低氣體返流泄漏,提升了排氣能力,降低了能耗。
螺桿轉(zhuǎn)子的設(shè)計中,最重要的是設(shè)計型線,因為轉(zhuǎn)子型線基本決定了螺桿機械的性能好壞。螺桿機械性能的不斷提高及其市場份額的不斷擴大,是與轉(zhuǎn)子型線的發(fā)展密不可分的。
進入二十一世紀一零年代,河北維普真空在具有二十多年醫(yī)藥化工生產(chǎn)經(jīng)驗的總經(jīng)理劉學軍帶領(lǐng)下,吸收國外先進技術(shù)和設(shè)計理念結(jié)合國內(nèi)實際情況進行創(chuàng)新,研發(fā)生產(chǎn)了VP系列立式變螺距螺桿真空泵,推向市場后客戶普遍反響較好。維普真空將秉承精益求精、一絲不茍的工作作風,為用戶提供最優(yōu)化的真空系統(tǒng)解決方案,實現(xiàn)節(jié)能、減排、環(huán)保、增效的目標。