HALO水分測(cè)定儀為用戶提供了無以倫比的準(zhǔn)確性、可靠性、響應(yīng)速度，而且易于操作。HALO水分測(cè)定儀采用了TigerOptics專利一個(gè)非常全面和經(jīng)濟(jì)的分析儀設(shè)計(jì)  ~（CRDS）光腔振蕩衰減光譜微量氣體定量分析。此LP分析儀（低壓版本），允許用戶測(cè)量氫化物中的水分的氣體，如氨、砷化氫、膦、或惰性氣體。用戶無需間接周期傳感器的維護(hù)程序，無需量程校正，無需凈化器更換和無需泵重建。HALOH2OLP不同於HALOH2O，它集成了一個(gè)  絕對(duì)壓力控制器  提供精確控制需要予  氫化物氣體的精確測(cè)量。


測(cè)量下限：12ppb (1.4ppb惰性氣體)    外形尺寸（高x寬x深）：8.75″ x 8.5″ x 22.5″ 
靈敏度: 6 ppb  氨  (0.7ppb惰性氣體)   重量: 15千克（33磅） 
精度(取大值)：讀數(shù)的±4%或±6ppb (0.07ppb)   
響應(yīng)速度: 95%的響應(yīng)  少于3分鐘 
環(huán)境溫度：+10°C ~ +40°C 
存儲(chǔ)溫度：10°C ~ +50°C 


所用材料: 316L 不銹鋼（可選哈氏合金）    壓力：10 125 psig 
接液部件:    10 Ra                流量：可達(dá)1,000 sccm 
氣體的連接：1/4” VCR 入氣口及出氣口  氣體樣本: 氨、砷化氫、膦、或惰性氣體 
泄漏測(cè)試：< 2×10-8mbar?l/min             氣體溫度：低于60°C